又来15万吨/年!电子级氢氟酸掀起扩产热潮!
四川永晶新材料有限公司拟在沿滩高新技术产业园区新材料产业园投资50000万元,建设年产15万吨电子级氢氟酸及0.5万吨电子级氟化铵溶液生产线。
电子级氢氟酸是湿电子化学品中的一种,主要应用在集成电路、液晶显示器、太阳能光伏、LED制造等工艺中。电子级氢氟酸由约51%的高纯氟化氢和49%的高纯水组成,按照下游用途的不同大致可分为半导体级氢氟酸和光伏级氢氟酸,其中半导体级氢氟酸主要应用在集成电路、液晶显示、半导体领域,而光伏级氢氟酸主要应用在光伏太阳能电池领域,用于表面清洗、去除氧化物。
电子级氢氟酸可被分为EL、UP、UP-S、UP-SS、UP-SSS等级别,其中UP-SSS级别(相当于SEMI G5质量标准,金属杂质要求≤10ppt)的氢氟酸纯度最高,是12寸晶圆及更高规格的电子半导体产品制造环节必须用到的关键材料。
据不完全统计,我国电子级氢氟酸生产企业约十几家,产品级别集中在UP-S及以下,能够达到半导体所用G5级的企业仅有几家,其中已投产的主要是多氟多、湖北兴力电子、中巨芯、滨化股份。
多氟多目前拥有电子级氢氟酸产能5万吨/年,其中G5级别为1万吨/年,目前在建3万吨/年产能(UPSSS),计划2023年建成投产。
滨化股份的电子级氢氟酸项目于2018年7月开始试生产,产品达到G5等级要求。根据2021年年报,滨化股份电子级氢氟酸产能为6000吨/年。
湖北兴力电子是兴发集团成员企业,引进台湾侨力公司电子级氢氟酸等技术,在园区建设3万吨/年电子级氢氟酸项目,该项目一期于2021年上半年投产,产能为1.5万吨/年,产品可以达到G5级别,已通过国内外部分高端市场客户的测试,实现批量供应。
中巨芯是巨化股份旗下公司,其3万吨/年ppt电子级氢氟酸扩建装置于2022年顺利投料试车,产品达到G5级别。
近些年,随着我国半导体与光伏行业步入高速发展期,电子级氢氟酸需求与日俱增,在此背景下,国内企业纷纷入局电子级氢氟酸,掀起了扩产热潮!